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有效稀释有害气体的浓度:
半导体易产生前面所说的、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。
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气体的粘滞性和热传导
任何介质中,水环式真空泵,动量的传递和层问动量交换的现象称为这种介质的粘滞性,浙江水环式真空泵厂,在气流速度梯度方向单位面积上的切向力与速度梯度之比为粘滞系数。水环真空泵也是如此。
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发热原因
1、水环式真空泵循环水的水量过少,循环水有两个用处,一是给真空泵降温,浙江水环式真空泵生产厂家,二是水在叶轮的的转动下在泵腔内形成水环,空气在叶轮的转动下在水环内压缩空气。
2、吸的气体温度较高,循环水高30度真空度降低,连续运转一天后,真空泵就和家里烧水的水壶一样,泵内产生水垢,叶轮运转困难后,摩擦增大造成发热。
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