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定期清洗真空泵及其他附件、过滤、管道，江苏2BV水环式真空泵，避免超压：

　　半导体真空泵应用时，抽取介质过程中经过反应室与真空泵，其成分可能极为复杂，如SiH4与O2在泵口形成SiO2，TiCl4水解会形成HCl；假设是油封式机械泵，这些气体物质还可能与泵油发生化反。这些变化假设形成颗粒、可凝物或者腐蚀性介质，就可能堵塞真空泵或管路系统，影响真空泵性能，造成压力上升或超压，一点中提到的危险性也更大。所以需要及时的清洗，江苏2BV水环式真空泵厂家，并在必要的时候设置过滤设备。

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在水环真空泵时，江苏2BV水环式真空泵厂，氦透过玻璃的渗透可达10-13升/秒。氢在300~400℃时可透过铁，450℃时可渗过镍，600℃时可渗透过玻璃，约640℃时还可透过铜。扩散系数。通过单位面积的质量流率的同该单位面积的法向浓度梯度之比。扩散己广泛应用于扩散泵和表面物理等实用技术中。

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使用减压阀既能提高水环式真空泵的使用寿命的同时也给您降低了使用成本， 但有时为达到泵要求的排量，不得不将驱动压力调节得高一些。驱动压力高时，不利的一面是容易对进气阀造成磨损。如果驱动压力高于要求值，会对进气阀造成严重的磨损而不得不提前更换进气阀。

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