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江苏2BV水环式真空泵厂 齐韵 江苏2BV水环式真空泵
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发布时间: 2020-12-05 00:45
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淄博齐韵泵业科技有限公司技术力量雄厚、制造设备精良,并有完善的质量管理体系,可为用户设计、制造不同类型的真空泵、水泵及设备机组。

如系统要求严格,也有加装两个止回阀的,止回阀起到一个止回的作用,由于在真空泵在关闭了之后,被抽容器处于一个真空的状态,而水环真空泵泵腔跟周围环境的压力一样大,由于压力差的关系,在我们关闭真空泵的时候,真空泵的空气会被倒回去被抽容器。

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有效稀释有害气体的浓度:

  半导体易产生前面所说的、有毒的有害气体。所以半导体真空泵应用中在抽取这些介质时就必须防止它们在真空泵内或者排气过程中发生一些不可控的反应。比如SiH4、PH3、AsH3、B2H6等物质,在与空气或氧接触的时候,会引起燃烧甚至;氢气在空气中的混合比例达到一定程度与温度时也会发生燃烧。这些都取决于该物质的量以及与环境的压力、温度的关系。因此半导体真空泵在抽取这些介质时,需要用氮气之类的惰性气体,在压缩前即将这些气体稀释到当时条件下的安全范围。  

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  由于水环泵中气体压缩是等温的,江苏2BV水环式真空泵厂,故可以抽除、的气体。由于没有排气阀及摩擦表面,故可以抽除带尘埃的气体、可凝性气体和气水混合物。有了这些突出的特点,尽管它效率低,仍然得到了广泛的应用。

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